是介于常量分析和微量分析之间的一种分析方法。被测物质的取样质量为0.005～0.1克；按取样体积为0.1～1.0毫升。半微量分析可分为半微量定量分析和半微量定性分析。半微量分析是较常用的分析方法，特别是在岩矿分析中，一次取5～100毫克样，用电感耦合等离子体质谱法（ICP/AES）、电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP/MS）、X射线荧光能谱法（XRF）等方法可同时测定几十个组分的含量。